低温等离子废气处理工作原理

现在国内根据低温等离子体工业废气处理技术研发出相应的标准化废气治理设备，归于根本是利用一些化学反应的化学键拆分，得到无害的气体分子，从而达到环保排放烟气的标准要求。具体是利用所产生的高能电子、自由基等活性粒子激活、电离、裂解工业废气中的各组成份，使之发生分解，氧化等一些列复杂的化学反应，再经过多级净化，从而消除各种污染源排放的异味、臭味污染物，使有毒有害气体达到低毒化、无毒化，?；と死嗌婊肪?。

低温等离子体技术应用范围广，气体的流速和浓度对于气态污染物治理技术应用来说是两个非常重要的因素。生物过滤和燃烧技术能应用于较高浓度范围，但却受气体的流速所限。而低温等离子体技术对气体的流速和浓度都有一个很宽的应用范围，低温等离子设备其应用广泛不言而喻。

 等离子体技术工艺简单。吸附法要考虑吸附剂的定期更换，脱附时还有可能造成二次污染；燃烧法需要很高的操作温度；生物法要严格控制pH值、温度和湿度等条件，以适合微生物的生长。而低温等离子体技术则较好的克服了以上技术的不足，反应条件为常温常压，反应器结构简单，低温等离子设备并可同时消除混合污染物，不会产生二次污染等。就经济可行性来说，低温等离子体反应装置本身系统构成就单一紧凑，在运行费用方面，微观来讲，因放电过程只提高电子温度而离子温度基本保持不变，这样反应体系就得以保持低温，低温等离子设备不仅能量利用率高，而且使设备维护费用也很低。

影响等离子清洗效果的几个主要因素

影响等离子清洗效果的因素有很多，其中Z主要的是电源功率频率、工作压强、工作气体种类以及清洗的时间。等离子清洗的效果会随着功率的增大而变好;工作压强的选择要根据清洗的基片进行合理选用，当以物理作用为主时应减小压力以增大离子能量，当以化学作用为主时要增大一些压力，保证反应气体浓度，清洗时间也要保证清洗效果的同时减小能耗。

电极对等离子清洗效果影响

电极的设计对等离子清洗效果有着显著的影响，主要包括电极的材料、布局和尺寸等因素。对于内电极等离子清洗系统，由于电极暴露在等离子体中，某些材料的电极会被一些等离子体刻蚀或发生溅射现象，造成不必要的污染并导致电极尺寸的变动，进而影响等离子清洗系统的稳定性。

电极的布局对等离子清洗的速度和均匀性有较大影响，较小的电极间距能够将等离子体限制在狭小的区域从而获得较高密度的等离子体，实现较快速度的清洗。随着间距的增加清洗速度逐渐下降但均匀性逐渐增强，电极的尺寸通常决定了等离子系统的整体容量，在电极平行分布的等离子清洗系统中，电极通常作为托盘使用，较大尺寸的电极能够一次清洗更多的元器件，提高设备的运行效率。

工作压强对等离子清洗效果的影响

工作压强是等离子清洗的重要参数之一，压强的提高意味着等离子体密度的增加和粒子平均能量的降低，对化学反应为主导的等离子体，密度的增加能显著提高等离子系统的清洗速度，而物理轰击主导的等离子清洗系统则效果并不明显。此外，压强的改变可能会引起等离子体清洗反应机理的变化。如硅片刻蚀工艺所采用的CF4/O2等离子体，当压强较低时离子轰击起主导作用，而随着压强的增加，化学刻蚀不断加强并逐渐占据主导作用。

电源功率及频率对等离子清洗效果的影响

电源的功率对等离子体各参数都有影响，比如电极的温度、等离子体产生的自偏压以及清洗效率等。随着输出功率的增加，等离子清洗速度逐渐加强，并逐渐稳定在一个峰值，而自偏压则随着输出功率的增加不断上升。由于功率范围基本恒定，频率是影响等离子体自偏压的关键参数，随着频率的增加自偏压逐渐下降。此外，随着频率的增加等离子体中电子的密度也会逐渐增加，而粒子平均能量逐步下降。

工作气体的选择对等离子清洗效果的影响工艺气体的选择是等离子清洗工艺设计的关键步骤，尽管很多时候大多数气体或气体混合物都能对污染物起到去除作用，但清洗速度却能相差几倍甚至几十倍。